先端無機薄膜研究室 @ 青山学院大学

• ナノ・マイクロスケール熱物性ハンドブック
  「6.2.6有機薄膜の熱物性値」,「6.4.2透明導電性薄膜の熱物性値」,「6.4.3Al2O3薄膜の熱物性値」
  日本熱物性学会 編 (2014/6).
• 半導体プロセス・形状シミュレーション技術-加工精度向上のツボ-
  重里 有三, 髙木 茂行 著 (2012/10).
• Handbook of Transparent Conductors
  "Chapter 5 In Based TCOs"
  David S. Ginley 編 (2010/10).
• 薄膜ハンドブック
  「第I編 第1章 1.2節 1.2.3項 パルススパッタリング法」, 「第I編 第4章 4.5節 4.5.5項 ITOおよびIZO透明導電膜」
  日本学術振興会薄膜第131委員会 編 (2008/3).
• 透明導電膜の技術 (改定2版)
  PP.113-153,184-193
  日本学術振興会166委員会 編 (2006/12).
• 電子材料ハンドブック
  「7.11　ITO, IZO薄膜の作成方法と構造・物性」
  木村忠正, 奥村次徳, 八百隆文, 豊田太郎 編 (2006/12).
• 光触媒 基礎・材料開発・応用
  「第1編光触媒の基礎」, 「第3章 光触媒の設計と調整」, 「3.10スパッタ法による光触媒薄膜の調整」
  橋本和仁, 大谷文章, 工藤昭彦 編 (2005/5).

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• 2019/11
  応用物理学会第5回薄膜・表面物理分科会論文賞
  受賞論文：「p-type conduction mechanism in continuously varied non-stoichiometric SnOx thin films deposited by reactive sputtering with the impedance control」
• 2019/11
  日本熱物性学会論文賞
  受賞論文：「熱流方向と平行な結晶粒界におけるフォノン散乱の熱伝導率への影響」
• 2019/9
  講演奨励賞 (第47回 応用物理学会秋季講演会)
  受賞論文：「アモルファスAl2O3薄膜における熱伝導率制御」
• 2018/12
  奨励賞 (第28回日本MRS年次大会)
  受賞発表題目：「Crystallization of amorphous In2O3-based thin films by post-annealing」
• 2017/11
  学生ベストプレゼンテーション賞（第38回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「ヘテロエピタキシャルITO薄膜における熱と電気の輸送特性」
• 2017/11
  学生ベストプレゼンテーション賞（第38回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「エピタキシャルZnO薄膜におけるフォノン熱伝導率の結晶性方位依存性」
• 2017/8
  Award for encouragement of research (IUMRS-ICAM2017)
  受賞発表題目：「Characterization of Layered In2O3(ZnO)m Films」
• 2017/8
  Award for encouragement of research (IUMRS-ICAM2017)
  受賞発表題目：「Optical, electrical, and thermophysical properties of heteroepitaxially grown Al-doped ZnO (AZO) films」
• 2017/7
  Best Poster Award: Gold (TOEO-10)
  受賞発表題目：「n-type and p-type SnOx films deposited by reactive sputtering with the impedance control system」
• 2016/5
  1st Poster Award (E-MRS 2016 Spring Meeting)
  受賞発表題目：「In-situ Brouwer analysis on defects in homologous InO(ZnO) films」
• 2016/5
  2nd Poster Award (E-MRS 2016 Spring Meeting)
  受賞発表題目：「Deposition of indium-oxide based transparent conductive films by reactive sputtering using alloy targets」
• 2015/10
  Poster Award:Silver (TOEO-9)
  受賞発表題目：「Sn-doping Induced Structural Changes for Sputtered TiO2 Films」
• 2015/7
  Best Poster Award (ISSP 2015)
  受賞発表題目：「Study on the crystallization of amorphous IGZO thin films deposited by dc magnetron sputtering」
• 2015/3
  Paper of the Year Award (Journal of Materials Research)
  受賞発表題目：「Termophysical properties of SnO2-based transparent conductive films: Effect of dopant species and structure compared with In2O3-, ZnO-, and TiO2-based films」
• 2014/12
  Award for encouragement of research (The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia)
  受賞発表題目：「Temperature Dependence of Phonon or Free Electron Contributions on Thermal Conductivity of VO2 Thin Films across Metal-Insulator Transition」
• 2014/9
  学生講演ポスター賞優秀ポスター賞（第38回 結晶成長討論会）
  受賞発表題目：「アモルファスIGZOの結晶化に関する研究」
• 2014/9
  学生講演ポスター賞優秀ポスター賞（第38回 結晶成長討論会）
  受賞発表題目：「反応性スパッタ法で作製したGaNエピタキシャル膜の熱物性解析」
• 2013/9
  Best Poster Award (2013-JSAP-MRS Joint Symposia)
  受賞発表題目：「The study on crystal growth of TiO2 films deposited by reactive sputtering」
• 2013/9
  Best Poster Award (2013-JSAP-MRS Joint Symposia)
  受賞発表題目：「In-free Transparent Conductive Films Deposited by Reactive Sputtering with a Sintered Metal Powder Target using Ne, Ar or Kr」
• 2012/10
  学生ベストプレゼンテーション賞（第33回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「酸化物薄膜と金属薄膜の界面熱抵抗に関する研究」
• 2012/6
  Poster Award: 3rd Prize (ICCG 9)
  受賞発表題目：「Electrochromic WO3 Films Deposited by Hollow Cathode Gas Flow Sputtering with Very High Deposition Rate」
• 2011/11
  学生ベストプレゼンテーション賞（第32回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「アモルファスIGZO薄膜の熱拡散率測定」
• 2011/11
  学生ベストプレゼンテーション賞（第32回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「TiO2およびNbドープTiO2薄膜の熱拡散率測定(2)」
• 2011/3
  Poster Award: Silver (TOEO-7)
  受賞発表題目：「Thermophysical properties of amorphous IGZO films deposited by dc magnetron sputtering」
• 2011/3
  Poster Award: Silver (TOEO-7)
  受賞発表題目：「High Rate Deposition of Ta-doped SnO2(TTO) by Reactive Sputtering with Plasma Emission Intesity or Impedance Feedback systems」
• 2010/11
  学生ベストプレゼンテーション賞（第31回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「TiO2およびNbドープTiO2薄膜の熱拡散率測定」
• 2009/4
  Poster Award (TOEO-6)
  受賞発表題目：「Visible-Light active photocatalytic WO3 films loaded with Pt nanoparticles」
• 2008/12
  Poster Award (TOEO-6)
  受賞発表題目：「Transparent conductive Nb-doped TiO2 films deposited by dc magnetron sputtering using a slightly reduced Nb-doped TiO2 ceramic target」
• 2008/12
  Poster Award (MRS 2008 Fall Meeting)
  受賞発表題目：「Properties of IGZO Films Deposited by Dc Magnetron Sputtering with H2O Introduction」
• 2008/11
  優秀賞（日本電子材料技術協会 第45回秋季講演大会）
  受賞発表題目：「AlN 薄膜の熱物性における酸素濃度依存性」
• 2008/11
  ベストプレゼンテーション賞（第29回 日本熱物性シンポジウム）
  受賞発表題目：「AlN，AlOxNy薄膜の熱物性に関する研究」
• 2006/10
  青山学院学術褒賞
  受賞内容：「高度な機能を有する無機薄膜材料の合成と物性に関する研究」

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• 2016/4 - 2019/3
  ガラス基板上に配向を有するIGZO薄膜の形成メカニズムの解明
  科学研究費助成事業 基盤研究(C)
• 2003/4 - 2007/3
  エネルギー効率化のための機能性材料の創製
  21世紀COEプログラム
• 2002/11 - 2005/3
  次世代薄膜デバイス産業支援用標準物質の研究開発
  新エネルギー・産業技術総合開発機構 知的基盤研究開発事業
• 2001/4 - 2006/3
  スパッタ法による高機能光触媒の開発
  科学研究費助成事業 特定領域研究

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