- 岩﨑 慎平, 賈 軍軍, 岡島 敏浩, 重里 有三
アモルファス酸化インジウム系薄膜の結晶化
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第82回研究会, 東京 (2019/1). - 北沢 侑加, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
ガスバリア膜を用いたフレキシブル光触媒シートの開発
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第82回研究会, 東京 (2019/1). - Minseok Kim, Junjun Jia, Hiroshi Yanagi, Yuzo Shigesato
Optical properties of amorphous Cd-In-O film evaluated by ellipsometry method.
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 岡 伸人, 村田 亜紀代, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
Ptナノ粒子と担持した可視光応答型WO3光触媒薄膜に関する研究
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 鈴木 崇啓, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 賈 軍軍, 重里 有三
アモルファスDLC薄膜のラマンスペクトルと熱物性に及ぼすTiドーパントの影響
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 賈 軍軍, 原 智彦, 中村 新一, 重里 有三
アモルファスIGZOトランジスタにおける欠陥構造と電子構造の関係性の解明
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 岩﨑 慎平, 賈 軍軍, 岡島 敏浩, 重里 有三
アモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する研究」
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 中野 綾香, 竹歳 尚之, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 重里 有三
スパッタ法で作製したヘテロエピタキシャルITOおよびIn2O3薄膜の電気特性と熱物性
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 賈 軍軍, 原 智彦, 中村 新一, 重里 有三
スパッタ法を用いた作製してZn-InO-N薄膜の構造特性と光学特性
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 安倍 知奈実, 山下 雄一郎, 田中 幸美, 八木 貴志, 賈 軍軍, 服部 浩一郎, 竹歳 尚之, 小口 有希, 重里 有三
モルファス(AlxGa1-x)2O3の熱物性及び工学特性
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 小泉 海樹, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 小口 有希, 竹歳 尚之, 重里 有三
ルチル型全率固溶体Ti1-xSnxO2薄膜の格子定数、光学的バンドギャップおよび熱物性
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 青木 優津希, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 小口 有希, 重里 有三
反応性スパッタリングを用いたαおよびβ-MoO3薄膜の作製とその熱物性
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 帯刀 理沙, 賈 軍軍, 重里 有三
還元したアモルファス参加タングステン(WO3-x)薄膜の誘電関数」
第28回日本MRS年次大会, 福岡 (2018/12). - 安倍 知奈実, 山下 雄一郎, 田中 幸美, 八木 貴志, 賈 軍軍, 服部 浩一郎, 竹歳 尚之, 小口 有希, 重里 有三
(AlxGa1-x)2O3複合アモルファス薄膜における熱拡散率の組成依存性
第36回日本熱物性シンポジウム, 愛知 (2018/11). - 鈴木 崇啓, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 重里 有三
Tiドープダイヤモンドライクカーボン薄膜における化学組成と熱伝導率(2)-基板加熱が酸素不純物と熱伝導率に与える影響-
第36回日本熱物性シンポジウム, 愛知 (2018/11). - 青木 優津希, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 小口 有希, 重里 有三
α型およびβ型MoO3多結晶薄膜の熱伝導率
第36回日本熱物性シンポジウム, 愛知 (2018/11). - 小泉 海樹, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 小口 有希, 竹歳 尚之, 重里 有三
チタン-スズ複合酸化膜の熱伝導率と組成依存性
第36回日本熱物性シンポジウム, 愛知 (2018/11). - 中野 綾香, 竹歳 尚之, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 重里 有三
ヘテロエピタキシャルIn2O3薄膜における熱と電気の輸送特性
第36回日本熱物性シンポジウム, 愛知 (2018/11). - 山下 雄一郎, 本多 夏穂, 賈 軍軍, 重里 有三, 竹歳 尚之, 八木 貴志
熱流方向と平行な結晶粒界におけるフォノン錯乱の熱伝導率への影響
第36回日本熱物性シンポジウム, 愛知 (2018/11). - [Invited] 賈 軍軍, 重里 有三
スパッタ法を用いた酸化物半導体薄膜の作製およびTFT特性
第2回酸化物半導体討論会, 神奈川 (2018/10). - Y. Kitazawa, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Control on the interface between thin film TiO2 photocatalyst and PET, PI substrates
ACSIN-14 & ICSPM26, Miyagi, Japan (2018/10). - Y. Suga, T. Kato, J. Jia, K. Tomimoto, Y. Oguchi, S. Nakamura, Y. Shigesato
IrOx based Electrochromic films deposited by rf suputtering
ACSIN-14 & ICSPM26, Miyagi, Japan (2018/10). - K. Terashima, J. Jia, S. Nakamura, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Switchable mirror materials based on Gd-Mg alloy deposited by sputtering
ACSIN-14 & ICSPM26, Miyagi, Japan (2018/10). - K. Honda, Y. Yamashita, J. Jia, T. Yagi, S. Nakamura, N. Takegoshi, Y. Shigesato
Effects of the Al doping on thermal conductivity for heteroepitaxially grown Al-doped ZnO films
7th International Symposium on Transparent Conductive Materials (IS-TCMs), Crete, Greece (2018/10). - T. Okajima, J. Jia, H. Nishiyama, Y. Shigesato
Local structure of Nb and/or N doped TiO2 film formed by reactive sputtering
7th International Symposium on Transparent Conductive Materials (IS-TCMs), Crete, Greece (2018/10). - M. Saito, J. Jia, S. Nakamura, H. Machinaga, D. Gloess, Y. Shigesato
Optical properties of niobium oxide films deposited by reactive sputtering with the plasma emission feedback system
7th International Symposium on Transparent Conductive Materials (IS-TCMs), Crete, Greece (2018/10). - 須賀 結奈, 加藤 勉, 賈 軍軍, 富本 晃吉, 小口 有希, 中村 新一, 重里 有三
rfスパッタリングによるIrOx系エレックトロクロミック薄膜の作製
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 愛知 (2018/9). - 岩﨑 慎平, 山本 新吾, 賈 軍軍, 岡島 敏浩, 重里 有三
アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 愛知 (2018/9). - 賈 軍軍, 重里 有三
反応性スパッタによるITO並びにIZO透明導電膜の高速成膜
VACUUM2018 真空展, 神奈川 (2018/9). - 岡島 敏浩, 賈 軍軍, 西山 碩芳, 重里 有三
反応性スパッタリングによりNb，N ドープしたTiO2 膜の局所構造
第21回XAFS討論会, 北海道 (2018/9). - Y. Kitazawa, J.Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
High Quality TiO2 Photocatalyst Deposited on PET or PI Polymer Films by Reactive Sputtering for Flexible Photocatalytic Sheet
The 22nd International Conference on Photochemical Conversion and Storage of Solar Energy (IPS-22), Anhui, China (2018/7). - [Invited] J. Jia, N. Oka, Y. Shigesato
Thin Film Photocatalysts sith Visible-Light Activities Deposited by Magnetron Sputtering
The 22nd International Conference on Photochemical Conversion and Storage of Solar Energy (IPS-22), Anhui, China (2018/7). - [Invited] J. Jia, Y. Shigesato
Phonon Engineering on In2O3-and ZnO-based Thin Films
CIMTEC 2018, Perugia, Italy (2018/6). - [Invited] 重里 有三
透明導電膜の種類・性質・導電メカニズム、および、最新動向
SAGA-LSセミナー, 佐賀 (2018/6). - [Invited] 重里 有三
透明導電膜の基礎と最新動向-各種特性、成膜技術、今後の展望等-
サイエンス＆テクノロジー主催セミナー, 東京 (2018/5). - [Invited] 重里 有三
様々な透明導電膜の研究開発の現状と今後の展望
様々な透明導電膜の研究開発の現状と今後の展望, 神奈川 (2018/5). - J. Jia, T. Sugane, Y. Shigesato
Fabrication of p-type SnOx Thin Films and its Defect Structure
MRS Spring Meeting 2018, Arizona, USA (2018/4).
2018年度
2017年度
- 下柳 勇次, 賈 軍軍, 中村 新一, 伊村 正明, 金井 敏正
Gd並びにMg-Y薄膜のスイッチングミラー特性の高性能化
第65回応用物理学会春季学術講演会, 東京 (2018/3). - 石川 崚, 賈 軍軍, 重里 有三
スパッタ法によるAl1-xGaxNの成膜
第65回応用物理学会春季学術講演会, 東京 (2018/3). - 山本 晴香, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
反応性スパッタリングによる金属ドープTiO2およびTiO2-X膜の光学特性
第27回MRS年次大会, 神奈川 (2017/12). - [Invited] 重里 有三
透明導電膜の熱物性 (Review on Thermophysical Properties of Transparent Conductive Oxide Films)
第27回日本MRS年次大会, 神奈川 (2017/12). - J. Jia, S. Yamamoto, T. Okajima, Y. Shigesato
Experimental Investigation on Structural Evolution of Amorphous Indium-Based Oxide Films During Annealing by In Situ XRD and EXAFS Measurements
2017MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA (2017/11). - J. Jia, T. Hara, Y. Shigesato
Structural Characterization of Functional ZnO-InN Alloy Films
2017MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA (2017/11). - J. Jia, H. Kamijo, S. Nakamura, Y. Shigesato
Structural, Optical and Electrical Properties of Zn3N2 Films Deposited by dc or rf Magnetron Sputtering
2017MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA (2017/11). - 峯岸 智志, 八木 貴志, 賈 軍軍, 山下 雄一郎, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
TiO2(001)基板に作製したエピタキシャルVO2の膜成長と熱伝導率
第38回日本熱物性シンポジウム, 茨城 (2017/11). - 鈴木 崇啓, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 賈 軍軍, 重里 有三
Tiドープダイヤモンドライクカーボン薄膜における化学組成と熱伝導率
第38回日本熱物性シンポジウム, 茨城 (2017/11). - 本多 夏穂, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 八木 貴志, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
エピタキシャルZnO薄膜におけるフォノン熱伝導率の結晶性方位依存性
第38回日本熱物性シンポジウム, 茨城 (2017/11). - 中野 綾香, 竹歳 尚之, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 重里 有三
ヘテロエピタキシャルITO薄膜における熱と電気の輸送特性
第38回日本熱物性シンポジウム, 茨城 (2017/11). - N. Oka, M. Watanabe, J. Jia, K. Sugie, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
Electrochromic WO3 Films with controlled high-rate deposition by Hollow Cathode Gas Flow Sputtering
The 232nd Electrochemical Society (ECS) MEETING, Maryland, USA (2017/10). - 鈴木 崇啓, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 賈 軍軍, 重里 有三
ダイヤモンドライクカーボン薄膜中のTiドーパントによる熱伝導率への影響
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡 (2017/9). - 中野 綾香, 竹歳 尚之, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 重里 有三
ヘテロエピタキシャルITO薄膜における熱伝導率の結晶方位依存性
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡 (2017/9). - 北沢 侑加, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
ポリマーフィルムを用いた高機能フレキシブルTiO2光触媒薄膜の作製
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡 (2017/9). - 賈 軍軍, 岡島 敏浩, 重里 有三
後焼成によるアモルファスIGZO薄膜の欠陥変化及びそのメカニズム
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡 (2017/9). - 帯刀 理沙, 賈 軍軍, 重里 有三
還元された酸化タングステン(WO3-x)薄膜の誘電関数
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡 (2017/9). - S. Minegishi, T. Yagi, J. Jia, Y. Yamashita, S. Nakamura, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Thermal Conductivity of Epitaxial VO2 Film at The Metal-Insulator Phase Transition
European Conference on Thermophysical Properties (ECTP 21st 2017), Graz, Austria (2017/9). - A. Nakano, N. Taketoshi, Y. Yamashita, T. Yagi, J. Jia, Y. Shigesato
Characterization of heteroepitaxial grown ITO films deposited by sputtering
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - J. Jia, H. Wardenga, A. Klein, Y. Shigesato
Characterization of Layered In2O3(ZnO)m Films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - N. Ishiguro, J. Jia, M. Kurose, H. Machinaga, Y. Shigeasto
Characterization of Si or Ti-doped diamond-like carbon films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - H. Yamamoto, J. Jia, T. Arakawa, S. Nakamura, m. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Crystal structure control of TiO2 films deposited by reactive sputtering
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - M. Saito, J. Jia, S. Nakamura, H. Machinaga, D. Gloess, Y. Shigesato
Deposition of Niobium Oxide films by reactive sputtering with the plasma emission monitoring system
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - R. Tatewaki, J. Jia, Y. Shigesato
Dielectricconstant and work function of tungsten oxide (WO3-x) films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - S. Minegishi, T. Yagi, H. Kizuka, J. Jia, Y. Yamashita, S. Nakamura, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Electrical and thermal conductivity change for epitaxial VO2 film at the metal-insulator phase transition
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - S. Yamamoto, J. Jia, T. Okajima, S. Nakamura, Y. Shigesato
Experimental investigation on crystallization of In2O3 based amorphous transparent conductive oxide films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - T. Kubota, S. honda, k. Azuma, J. Jia, Y. Shigesato, K.Y. Lee
Fabrication of graphene and molybdenum oxide hybrid films for transparent conductive films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - Y. Shitayanagi, J. Jia, S. Nakamura, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Gd and Mg-Y switching mirror materials deposited by sputtering
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - Y. Yamashita, J. Jia, T. Yagi, S. Nakamura, N. Taketoshi, Y. Shigeasto
Optical, electrical, and thermophysical properties of heteroepitaxial grown Al-doped ZnO (AZO)” K. Honda
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - T. Okajima, J. Jia, H. Yamamoto, Y. Shigesato
Phase Stability of Sn doped TiO2 studied by X-ray Absorption Spectroscopy and First-Principles DFT Calculations
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - Y. Kitazawa, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Photocatalytic TiO2 films deposited on flexible polymer substrates by reactive sputtering
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - T. Sugane, J. Jia, S. Nakamura, D. Gloess, Y. Shigesato
Reactive sputter deposition of n-type and p-type SnOx films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - N. Oka, Y. Sanno, J. Jia, Y. Shigesato
Reactive sputter deposition of Nb-doped TiO2 films using Ni-Ti alloy target with impedance control systems
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - R. Ishikawa, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Structural characterization of GaN films deposited by rf sputtering using He, Ne, Ar, and Kr as sputtering gases
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - T. Hara, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Study on the Zn-In-O-N(SION) films deposited by dc or rf sputtering
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - J. Jia, H. Nishiyama, T. Okajima, Y. Shigesato
Tailoring Crystal Structural of Sputtered TiO2 Film by Impurity Doping
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - T. Suzuki, Y. Yamashita, T. Yagi, N. Taketoshi, J. Jia, Y. Shigesato
Thermal conductivity of Ti-doped diamond-like carbon thin fims
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - H. Kmijyo, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shiogesato
Zn3N2 films deposited by dc or rf magnetron sputtering
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - [Invited] N. Oka, Y. Shigesato
Thermophysical Properties of Transparent Conductive Oxide Thin Films
IUMRS-ICAM 2017 Symposium B-1 (3rd Bilateral MRS-J / E-MRS symposium), Kyoto, Japan (2017/8). - Haruka Yamamoto, Junjun Jia, Hiroyoshi Nishiyama, Yuzo Shigesato
Dielectric function of Nb-TiO2 and TiO2-x films by reactive sputtering
10th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-10), Tokyo, Japan (2017/7). - T. Sugane, J. Jia, S. Nakamura, D. Gloess, Y. Shigesato
n-type and p-type SnOx films deposited by reactive sputtering with the impedance control system
10th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-10), Tokyo, Japan (2017/7). - M. Saito, J. Jia, S. Nakamura, H. Machinaga, D. Gloess, Y. Shigesato
Niobium Oxide films with precisely controlled various stoichiometry deposited by reactive sputtering with the plasma emission monitoring system
10th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-10), Tokyo, Japan (2017/7). - Junjun Jia, Tomohiko Hara, Yuzu Shigesato
Structural, optical and electrical properties of sputtered (ZnO) x (InN) 1−x Films
10th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-10), Tokyo, Japan (2017/7). - 下柳 勇次, 賈 軍軍, 中村 新一, 伊藤 正明, 金井 敏正, 重里 有三
スイッチングミラー材料Gd, Mg-Yを用いたスマートウィンドウの開発
第6回JACI/GCSシンポジウム, 東京 (2017/7). - 石川 崚, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
スパッタ成膜したGaNのキャラクタリゼーション
第6回JACI/GCSシンポジウム, 東京 (2017/7). - 北沢 侑加, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
ポリマーフィルムを用いたフレキシブルTiO2光触媒薄膜の作製
第6回JACI/GCSシンポジウム, 東京 (2017/7). - [Invited] Yuzo Shigesato, Junjun Jia, Nobuto Oka
Reactive sputter depositions of various TCO films with the low resistivity
10th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-10), Tokyo, Japan (2017/7). - [Invited] Yuzo Shigesato, Junjun Jia
Reactive sputter depositions of various TCOs, photocatalysts and thermochromic films
21th International Conference on Solid State Ionics (SSI-2017), Padua, Italy (2017/6). - [Invited] 重里 有三
反応性スパッタリングによる様々な機能性酸化物・窒化物の成膜
日本学術振興会薄膜第131委員会 第284回研究会, 東京 (2017/4). - J. Jia, Y. Yamashita, T. Yagi, Y. Shigesato
Thermal conduction in homologous In2O3(ZnO)m films
2017 MRS Spring Meeting & Exhibit, Arizona, USA (2017/4). - K. Honda, Y. Yamashita, J. Jia, T. Yagi, S. Nakamura, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Thermal conductivities of epitaxial Al-doped and ZnO thin films deposited by magnetron sputtering
2017 MRS Spring Meeting & Exhibit, Arizona, USA (2017/4). - J. Jia, K. Taniyama, N. Miyazawa, M. Imura, T. kanai, Y. Shigesato
TiO2 Film as Visible-Light Active Photocatalyst by Designing the Multilayer Structure with WO3 Film
2017 MRS Spring Meeting & Exhibit, Arizona, USA (2017/4).
2016年度
- [Invited] 重里 有三
透明導電膜の基礎と応用、および最新動向
「透明導電膜の基礎と応用、および最新動向」セミナー, 東京 (2017/3). - 所 寛典, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
DC及びRFスパッタ法によるZn3N2薄膜の合成
第64回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川 (2017/3). - 原 智彦, 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
反応性コ・スパッタ法によるZn-In-O-N(ZION)の成膜
第64回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川 (2017/3). - 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 重里 有三
層状構造を持つIn2O3(ZnO)m薄膜の熱伝導率
第64回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川 (2017/3). - [Invited] 重里 有三
スマートウィンドウ技術
セラミックスを用いた先進コーティング市場進出への戦略策定 スマートウィンドウ専門部会, 東京 (2017/2). - 賈 軍軍, 重里 有三
In2O3(ZnO)m薄膜の熱電特性及び評価方法
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第74回研究会, 東京 (2017/1). - M. Saito, J. Jia, S. Nakamura, H. Machinaga, D. Gloess, Y. Shigesato
Deposition of Niobium Oxide films by reactive sputtering with the plasma emission feedback system in the transition region
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - T. Sugane, J. Jia, S. Nakamura, D. Gloess, Y. Shigesato
High rate diposition of n-type and p-type SnOx films deposited by reactive magnetron sputtering with unipolar pulsing and impedance control system
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - T. Hara, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Selective deposition of polycrystalline anatase TiO2 films by reactive sputtering with Nb or N dopings
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - H. Yamamoto, J. Jia, H. Kotake, S. Nakamura, T. Okajima, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Selective deposition of polycrystalline rutile TiO2 films by reactive sputtering with controlling deposition parameters or Sn-doping
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - T. Hara, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Study on ZnO-InN(ZnInON) films as the functional oxynitride materials
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - H. Kamijyo, J. Jia, Y. Shigesato
Synthesis of Zn3N2 fils by DC and RF magnetron sputtering
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - Y. Miyazaki, E. Maruyama, H. Machinaga, J. Jia, Y. Shigesato
Transparent conductive ITO films deposited by reactive sputtering with plasma emission feedback system
26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016 (MRS-J), Yokohama, Japan (2016/12). - 石黒 菜々子, 賈 軍軍, 黒瀬 愛美, 待永 広宣, 重里 有三
DC/RFコ・スパッタリングにより作製したSi-DLC薄膜とTi-DLC薄膜
第26回日本MRS年次大会, 神奈川 (2016/12). - 下柳 勇次, 細谷 梨菜, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
スイッチングミラー材料を使用したスマートウィンドウの開発
第26回日本MRS年次大会, 神奈川 (2016/12). - 谷山 謙太, 宮澤 七海, 賈 軍軍, 中村 新一, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
スパッタ法によるTiO2/WO3積層系可視光応答型光触媒の作製II
第23回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」, 東京 (2016/12). - 上條 栞, 賈 軍軍, 中村 新一, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 重里 有三
反応性スパッタ法により作製したIn1-xGaxN薄膜のバンドギャップ制御
第23回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」, 東京 (2016/12). - 石川 崚, 磯﨑 勇児, 賈 軍軍, 中村 新一, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 重里 有三
金属GaあるいはGaNをターゲットとして用いたスパッタ法によるGaN薄膜の作製
第23回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」, 東京 (2016/12). - 本多 夏穂, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 八木 貴志, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
AlドープZnO(AZO)薄膜の熱伝導率におけるドーパントの影響
第37回日本熱物性シンポジウム, 岡山 (2016/11). - 峯岸 智志, 八木 貴志, 鬼塚 日奈子, 賈 軍軍, 山下 雄一郎, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
エピタキシャルVO2薄膜における金属・絶縁体相転移による熱伝導率変化の発現条件
第37回日本熱物性シンポジウム, 岡山 (2016/11). - 賈 軍軍, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 重里 有三
ホモロガスIn2O3(ZnO)m薄膜中の熱伝導現象
第37回日本熱物性シンポジウム, 岡山 (2016/11). - Akiyo Murata, Nobuto Oka, Junjun Jia, Shinichi Makamura, Yuzo Shigesato
Thin-Film WO3 Photocatalyst with Visible Light Activity; (1) Deposition by the conventional reactive sputtering
2016 MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA (2016/11). - Nobuto Oka, Akiyo Murata, Yoshinori Iwabuchi, Hidefumi Kotsubo, Junjun Jia, Shinichi Nakamura, Yuzo Shigesato
Thin-Film WO3 Photocatalyst with Visible Light Activity; (2) Deposition by the hollow cathode gas flow sputtering
2016 MRS Fall Meeting & Exhibit, Boston, USA (2016/11). - 岸 智志, 八木 貴志, 鬼塚 日奈子, 賈 軍軍, 山下 雄一郎, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
ヘテロエピタキシャル成長したVO2薄膜の熱伝導率と金属絶縁体相転移
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 賈 軍軍, Hans Wardenga, Andreas klein, 重里 有三
ホモロガス構造をもつIn2O3(ZnO)m薄膜の熱物性
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 数金 拓巳, 賈 軍軍, 中村 新一, ダニエル グロス, 重里 有三
インピーダンス制御を用いた反応性スパッタ法によるn型およびp型SnOxの高速成膜
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 齋藤 真衣, 賈 軍軍, 中村 新一, ダニエル グロス, 重里 有三
プラズマ発光制御を用いた反応性スパッタ法による酸化ニオブ(NbOx)成膜
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 谷山 謙太, 宮澤 七海, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
反応性スパッタ法によるTiO2/WO3積層系可視光応答型の成膜
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 山本 晴香, 賈 軍軍, 古武 悠, 中村 新一, 岡島 敏浩, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
反応性スパッタ法によるTiO2薄膜の結晶構造制御(1)；成膜パラメータによる、あるいはSnドープによるルチルの選択成長
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 西山 碩芳, 賈 軍軍, 中村 新一, 岡島 敏浩, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
反応性スパッタ法によるTiO2薄膜の結晶構造制御(2)；Nb,Nドープによるアナターゼの選択成長
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 本多 夏穂, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 八木 貴志, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
多結晶およびエピタキシャルAlドープZnO(AZO)薄膜の熱伝導率
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 石川 崚, 磯﨑 勇児, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 中村 新一, 重里 有三
金属GaあるいはGaNをターゲットとしてもしいたスパッタ法によるGaN薄膜の成膜
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - 石黒 菜々子, 賈 軍軍, 黒瀬 愛美, 待永 広宣, 重里 有三
スパッタ法により作製したSi-DLCとTi-DLCのヂーパント効果」
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 新潟 (2016/9). - Yuzo Shigesato, Nobuto Oka, Junjun Jia
Visible-light active thin-film WO3 photocatalyst deposited by low-damage hollow-cathode reactive-gas-flow sputtering
15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE2016), Bayern, Germany (2016/9). - [Invited] 重里 有三
Reactive sputter deposition of functional oxide films with various performances
15th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE2016), Garmisch-Partenkirchen, Germany (2016/9). - 久保田 崇史, 本多 信一, 重里 有三, 賈 軍軍
グラフェンをベースとする高性能透明導電膜の作製
兵庫県立大学シンポジウム, 兵庫 (2016/9). - [Invited] 重里 有三
反応性スパッタリング、バイポーラ or ユニポーラパルススパッタリング、ガスフロースパッタリングの基礎と応用
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第72回研究会, 東京 (2016/7). - [Invited] 重里 有三
反応性スパッタ法による機能性酸化物薄膜の作製
ナノ構造機能創成研究会, 東京 (2016/7). - Yusuke Miyazaki, Eri Maruyama, Junjun Jia, Hironobu Machinaga, Tsukasa Miyazaki, Yuzo Shigesato
Deposition of indium-oxide based transparent conductive films by reactive sputtering using alloy targets
European Materials Research Society(E-MRS) 2016 Spring Meeting, Lille, France (2016/5). - Junjun Jia, Bo Wang, Tsutomu Hara, Koichi Nagamoto, Yuzo Shigesato
Effect of V and Ga dopant on the structural and electrical properties of ZnO films
European Materials Research Society(E-MRS) 2016 Spring Meeting, Lille, France (2016/5). - Andreas Klein, Yuzo Shigesato
In-situ Brouwer analysis on defects in homologous In2O3(ZnO) films
European Materials Research Society(E-MRS) 2016 Spring Meeting, Lille, France (2016/5). - N. Oka, A. Murata, Y.Iwabuchi, H.Kotsubo, J. Jia, Y. Shigesato
Pt-loaded WO3 photocatalyst with visible light activity deposited hollow-cathode reactive gas-flow sputtering
European Materials Research Society(E-MRS) 2016 Spring Meeting, Lille, France (2016/5). - H. Kizuka, T. Yagi, Y. Yamashita, J. Jia, S. Nakamura, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Thermal conductivity of polycrystalline VO2 thin films across Metal-Insulator Transition
European Materials Research Society(E-MRS) 2016 Spring Meeting, Lille, France (2016/5).
2015年度
- 須古 彩香, 賈 軍軍, 中村 新一, 岡島 敏浩, 重里 有三
a-IGZO薄膜の後焼成に伴う構造緩和と結晶化
第63回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川 (2016/3). - 宮﨑 裕介, 丸山 恵莉, 賈 軍軍, 待永 広宣, 宮崎 司, 重里 有三
プラズマ発行制御を用いた反応性スパッタ法によるITOおよびIZO透明導電膜の成膜
第63回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川 (2016/3). - 須古 彩香, 重里 有三
アモルファスのIGO,IZO,IGZO薄膜の結晶化挙動
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第70回研究会, 東京 (2016/1). - A. Suko, J. Jia, S. Nakamura, Y. Shigesato
Change in Structure and TFT Performances of IZO, IGO and IGZO Films by Crystallization
The 22nd International Display Workshops (IDW’15), Shiga, Japan (2015/12). - [Invited] 重里 有三
Change in Structure and TFT Performances of IZO, IGO and IGZO Films by Crystallization
The 22nd International Display Workshops (IDW’15), Shiga, Japan (2015/12). - 荒川 哲也, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
バナジウムと窒素をコドープした酸化チタンの成膜とキャラクタリセーション
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 賈 軍軍, 中村 新一, 重里 有三
ホロモガス構造を持つIn2O3(ZnO)5薄膜の電気と光学特性
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 原 智彦, 賈 軍軍, 重里 有三
反応性スパッタによる(ZnO)x(InN)1-x薄膜の作製
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 磯﨑 勇児, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 中村 新一, 重里 有三
反応性スパッタ法で作製したGaN薄膜の構造と熱物性
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 上條 栞, 磯﨑 勇児, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
反応性スパッタ法により合成したInGaN薄膜の特性
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 西山 碩芳, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
反応性スパッタ法によるNドープ、NbとNのコ・ドープしたTiO2薄膜の作製
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 谷山 謙太, 宮澤 七海, 荒川 哲也, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
反応性スパッタ法によるTiO2/WO3積層系可視光応答型光触媒の作製
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 宮崎 裕介, 丸山 恵莉, 賈 軍軍, 待永 広宣, 宮崎 司, 重里 有三
反応性スパッタ法による高品質ITO,IZO透明導電膜の作製
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - 上所 寛典, 賈 軍軍, 中村 新一, ダニエル グロス, 重里 有三
反応性マグネトロンスパッタ法によるZnNx薄膜の合成
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - [Invited] 重里 有三
反応性スパッタ法による機能性酸化物薄膜の高速成膜
第25回日本MRS年次大会, 神奈川 (2015/12). - A. Suko, J. Jia, M. Kowatari, S. Nakamura, Y. Shigesato
Change in the structure and optical properties of IGZO films by crystallization
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - K. Inoue, A. Suko, J. Jia, Y. Shigesato
Characterization of a-IGZO by Raman spectroscopy using total-internal-reflection technique
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - J. Jia, H. Wardenga, W. Mirko, A. Klein, Y. Shigesato
Defect Mechanism of Homologous In2O3(ZnO)5 Films
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - Y. Miyazaki, E. Maruyama, J. Jia, H. Machinaga, T. Miyazaki, Y. Shigesato
Deposition of ITO and IZO transparent conductive films by reactive sputtering in “transition region”
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - C. W. Oh-Yang, H. Kurt, J. Jia, Y. Shigesato
Engineering the TIO anode interface in organic photovoltaics for improving charge carrier extraction
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - N. Oka, A. Murata, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, J. Jia, Y. Shigesato
High-rate deposition of visible-light active thin-film WO3 photocatalyst by low-damage reactive-gas-flow sputtering
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - T. Hara, J. Jia, Y. Shigesato
Optical and Electrical properties of Zn-In-O-N Films deposited by reactive sputtering
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - J. Jia, H. Kotake, S. Nakamura, T. Okajima, Y. Shigesato
Sn-doping Induced Structural Changes for Sputtered TiO2 Films
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - H. Nishiyama, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Structural and optical properties of Nb-, N-doped and Nb-N co-doped TiO2 films
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - K. Ohtani, Y. Yamashita, J. Jia, T. Yagi, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Thermophysical Properties of Tungsten Oxide Films with Different Crystallinity
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - K. Taniyama, N. Miyazawa, T. Arakawa, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
TiO2/WO3 Multi-layer Films for Visible Light-active Photocatalyst
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - S. Ando, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Tuning the transition temperature of VO2 films deposited by reactive sputtering
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - H. Kamijo, J. Jia, D. Gross, Y. Shigesato
ZnNx films deposited by reactive sputtering using He, Ne, Ar gases
The 9th symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), Ibaraki, Japan (2015/10). - 磯﨑 勇児, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 中村 新一, 重里 有三
エピタキシャルGaN薄膜における熱伝導率へのスパッタ性膜条件の影響
第36回日本熱物性シンポジウム, 宮城 (2015/10). - [Invited] 重里 有三
Recent studies of In2O3- and ZnO-based transparent conductive thin films
European Materials Research Society 2015 fall meeting, Syposium G, Warsaw, Poland (2015/9). - 須古 彩香, 重里 有三
透過型電子顕微鏡によるIGZO薄膜の結晶化過程観察
日本顕微鏡学会・電子顕微鏡解析技術分科会 2015年夏の電子顕微鏡解析技術フォーラム, 静岡 (2015/8). - S. Kamijou, J. Jia, Y. Isosaki, Y. Shigesato
GaN and InGaN films deposited by reactive sputtering
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2015), Kyoto, Japan (2015/7). - A. Suko, J. Jia, S. Nakamura, F. Utsuno, E. Kawashima, K. Yano, Y. Shigesato
Study on the crystallization of amorphous IGZO thin films deposited by dc magnetron sputtering
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2015), Kyoto, Japan (2015/7). - Y. Isosaki, Y. Yamashita, T. Yagi, J. Jia, N. Taketoshi, S. Nakamura, Y. Shigesato
Thermophysical properties of epitaxial GaN films deposited by reactive sputtering using a Ga target
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2015), Kyoto, Japan (2015/7). - Y. Miyazaki, E. Maruyama, J. Jia, H. Machinaga, T. Miyazaki, Y. Shigesato
Transparent conductive ITO and IZO films deposited by reactive sputtering using alloy targets with the plasma emission feedback system
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2015), Kyoto, Japan (2015/7). - [Invited] 重里 有三
Various oxide films with high performances deposited by reactive sputtering
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2015), Kyoto, Japan (2015/7). - [Invited] 重里 有三
アモルファイルIZO, IGZOの結晶化挙動
酸化物半導体討論会, 神奈川 (2015/5).
2014年度
- 谷山 謙太, 宮澤 七海, 荒川 哲也, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
スパッタ法によるTiO2/WO3積層系可視光応答型光触媒の作製
光機能材料研究会第21回シンポジウム「光触媒反応の最近の展開」, 東京 (2014/12). - Y. Shigesato
Al or Ga doped ZnO Films with High Conductivity and Transparency Deposited by Off-axis Sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - J. Jia, A. Takenoshita, K. Yamasaki, H. Nakazawa, Y. Shigesato
Analysis on Carrier Density of the ITO Nanoparticles using Scanning Ellipsometry
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - A. Hayase, T. Matoba, J. Jia, Y. Shyigesato
Comparative study on the Long-term durability for the various TAOS films
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - A. Suko, J. Jia, S. Nakamura, F. Utsuno, E. Kawashima, K. Yano, Y. Shigesato
Crystallization of amorphous IGZO thin films
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - J. Jia, N. Oka, m. Kusayanagi. Y. Shigesato
Effect of the buffer layer on the properties of Al doped ZnO films deposited by reactive sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - N. Oka, J. Jia, Y. SHigesato
High-rate reactive sputter deposition for Transparent Conductive Oxide Films
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - S. Yonekawa, J. Jia, D. Gloess, Y. Shigesato
n-type or p-type SnOx Films Deposited by Reactive Sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - E. Maruyama, J. Jia, M. Kusayanagi. Y. Shigesato
Optical constants of Nb-doped TiO2 films
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - K. Inoue, A. Suko, J. Jia, Y. Shigesato
Structure-property correlation of a-IGZO
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - M. Yatabe, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Ta-doped SnO2 films deposited by off-axis dc magnetron sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - H. Kizuka, T. Yagi, Y. Yamashita, J. Jia, S. Nakamura, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Temperature dependence of Phonon or Free Electron Contribution on Thermal Conductivity of VO2 Thin Films across Metal-Insulator Transition
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - H. Kotake, J. Jia, S. Nakamura, T. Okajima, Y. Shigesato
The effect of impurity doping on crystal structure of TiO2 films deposited by reactive sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - K. Otani, Y. Yamashita, J. Jia, T. yagi, N. Taketoshi, Y. Shigesato
Thermal conductivities of Tungsten Oxide Thin films with Different Crystallinity
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - Y. Isosaki, Y. Yamashita, T. Yagi, S. Nakamura, Y. Shigesato
Thermal diffusivity of epitaxial GaN thin films deposited by reactive sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - N. Oka, J. Jia, Y. Shigesato
Transparent conductive Nb-doped TiO2 films deposited by reactive sputtering
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - S. Ando, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Tuning of the transition temperature of VO2 films by external-stress impression
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - Y. Shigesato
Very high rate deposition of WO3 Films Deposited by Hollow Cathode Gas Flow Sputtering for Electrochromic Applications
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2014/12). - 大谷 快, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 重里 有三
LaAlO3(100)基板上のWO3エピタキシャル薄膜の熱拡散率
第35回日本熱物性シンポジウム, 東京 (2014/11). - 鬼塚 日奈子, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
Mo膜上およびサファイアC面上に成長させたVO2薄膜の熱伝導率
第35回日本熱物性シンポジウム, 東京 (2014/11). - 磯崎 勇児, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 中村 新一, 重里 有三
エピタキシャルGaN薄膜の熱拡散率に対する結晶の配向性と酸素濃度依存性
第35回日本熱物性シンポジウム, 東京 (2014/11). - J. Jia, T. Torigoshi, A. Suko, Y. Shigesato, E. Kawashima, F. Utsuno, K. Yano
Nitrogen induced crystallization in indium-tin-zinc-oxide thin film
5th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCMs2014), Crete, Greece (2014/10). - A. Klein, M.V. Hohmann, M. Weidner, H.F. Wardenga, A. Fuchs, A. Wachau, P. Agoston, K. Albe, J. Jia, Y. Shigesato
Potential gradients at surfaces, interfaces and grain boundaries of degenerately doped transparent conducting oxides
5th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCMs2014), Crete, Greece (2014/10). - C. Ow-Yang, H. Kurt, S.K. Abkenar, O. Gurlu, J. Jia, Y.Shigesato
Work function engineering of transparent conductive electrodes at the nanoscale
5th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCMs2014), Crete, Greece (2014/10). - [Invited] 重里 有三
Towards the property tailoring of ftransparent conducting In2O3-ZnO films
5th International Symposium on Transparent Conductive Materials (TCMs2014), Crete, Greece (2014/10). - 賈 軍軍, 早勢 礼, 吉田 匡佑, 中村 新一, 重里 有三
アモルファスIZO,IGO,IGZO薄膜の結晶化(1)：IZOとIGO薄膜の結晶化挙動
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道 (2014/9). - 須古 彩香, 賈 軍軍, 中村 新一, 川嶋 絵美, 宇都 野太, 矢野 公規, 重里 有三
アモルファスIZO,IGO,IGZO薄膜の結晶化(2)：IGZOの結晶化挙動とデバイス特性
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道 (2014/9). - 米川 早紀, 賈 軍軍, Gloess Daniel, 重里 有三
反応性スパッタ法によるn型、並びにP型SnOx薄膜の作成
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道 (2014/9). - 磯崎 勇児, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 賈 軍軍, 竹歳 尚之, 中村 新一, 重里 有三
反応性スパッタ法の依るGaN薄膜のエピタキシャル成長
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道 (2014/9). - 安藤 峻, 賈 軍軍, 伊村 正明, 金井 敏正, 重里 有三
外部応力印加によるVO2薄膜の相転移温度制御
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道 (2014/9). - 鬼塚 日奈子, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 賈 軍軍, 中村 新一, 竹歳 尚之, 重里 有三
金属・絶縁体相転移をまたぐVO2薄膜の熱伝導率の温度依存性
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 北海道 (2014/9). - [Invited] 重里 有三
明視野像・暗視野像を用いた高度な材料解析-相分離技法の事例紹介-
日本顕微鏡学会・電子顕微鏡解析技術分科会 2014年夏の電子顕微鏡解析技術フォーラム, 静岡 (2014/8). - [Invited] 重里 有三
Optical and electrical properties of amorphous transparent In2O3-ZnO films
The International Conference on Coatings on Glass and Plastics (ICCG-10), Dresden, Germany (2014/6). - [Invited] 重里 有三
Review on thermophysical properties of various TCO thin films; ITO, IZO, AZO, ATO, TTO and NTO films
The International Conference on Coatings on Glass and Plastics (ICCG-10), Dresden, Germany (2014/6). - [Invited] 重里 有三
Oxide Electronic Devices in Transportation and Vehicles
Society of Vacuum Coaters 57th Annual Technical Conference (SVC TECHCON 2014), Chicago, USA (2014/5).
2013年度
- 竹之 下愛, 賈 軍軍, 米澤 岳洋, 山崎 和彦, 中澤 弘実, 重里 有三
分光エリプソメトリーによるITOナノ粒子のキャリア密度解析
第61回応用物理学会春季学術講演会, 神奈川 (2014/3). - [Invited] 重里 有三
Effects of aluminum doping on Fermi level in polycrystalline ZnO films
2014 Photonics West (SPIE), San Francisco, USA (2014/2). - [Invited] 重里 有三
ITO膜の成長メカニズムの解明やその制御
応用物理学会薄膜・表面物理分科会 第42回薄膜・表面物理基礎講座, 東京 (2013/11). - H. Kizuka, T. Yagi, J. Jia, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Observation on Thermal Conductivity Change of VO2 Thin Film an Metal-semiconductor Transition
The 10th Asian Termophysical Properties Conference (ATPC2013), Jeju, Korea (2013/9). - K. Ootani, Y. Yamashita, T. Yagi, J. Jia, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Thermal Diffusivity of WO3-x Films Deposited by dc Reactive Magnetron Sputtering
The 10th Asian Termophysical Properties Conference (ATPC2013), Jeju, Korea (2013/9). - J. Jia, N. Oka, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Thermophysical Properties of Various TCO Films: ITO, IZO, AZO, and NTO films
The 10th Asian Termophysical Properties Conference (ATPC2013), Jeju, Korea (2013/9). - J. Jia, M. Kusayanagi, N. Oka, S. Nakatomi, Y. Shigesato
Carrier transport in polycrystalline Al doped ZnO films
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - S. Ando, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y, Shigesato
Deposition of VO2 by Reactive Sputtering with Impedance Control System
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - Y. Trigoshi, J. Jia, Y. Shigesato
Energy distribution of O-ions during the IGZO sputtering process
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - M. Yatabe, J. Jia, Masaki. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
High-temperature durability of Ta doped SnO2 films deposited by rf sputtering
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - S. Yonekawa, S. Nakatomi, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
In-free Transparent Conductive Films Deposited by Reactive Sputtering with a Sintered Metal Powder Target using Ne, Ar or Kr
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - A. Hayase, T. Matoba, J. Jia, Y. Shigesato
Long-term durability on the electrical properties of various TAOS materials
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - E. Maruyama, J. Jia, M. Kusayanagi, Y. Shigesato
Optical constants of transparent conductive Nb-doped TiO2 films
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - H. Kotake, S. Nakatomi, J. Jia, S. Nakamura, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
The study on crystal growth of TiO2 films deposited by reactive sputtering
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - N. Oka, J. Jia, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Thermal transport properties of ITO, IZO, AZO, TTO and NTO films
2013-JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto, Japan (2013/9). - [Invited] 重里 有三
透明導電膜の基礎物性(ITO,IZO,AZO薄膜の構造、電気特性、光学特性、表面物性)
日本顕微鏡学会・デバイス解析分科会 電子顕微鏡解析フォーラム, 神奈川 (2013/8). - [Invited] 重里 有三
透明導電酸化物薄膜の作成と物性評価
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第60回研究会, 東京 (2013/7). - J, Jia, M. Kusayanagi, N. Oka, Y. Shigesato
Fabrication and characterization of Al doped ZnO films using reactive magnetron sputtering
The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma processes(ISSP2013), Kyoto, Japan (2013/7). - Yasushi Sato, Nobuto Oka, Shin-ichi Nakamura, Yuzo Shigesato
Atomic forced microscopy and transmission electron microscopy observations on the early stages of Sn-doped In2O3+ film growth deposited on a-SiO2 Surface by dc magnetron sputtering
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - A. Hayase, T. Matoba, J. Jia, Y. Shigesato
Comparative study on long-term durability of In-Zn-O, In-Zn-Ga-O and Zn-Sn-O films as TAOS
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - H. Kotake, S. Nakatomi, J. Jia, S. Nakamura, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Crystal structures of TiO2 films deposited by reactive sputtering under various deposition parameters
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - Asami Yasui, Shingo Ogawa, Takashi Yamamoto, Masaaki Takeda, Ryo Endo, Yuzo Shigesato
Electronic states of a-In-Zn-O films analyzed by x-ray photoelectron and reflected electron energy loss spectroscopies
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - Naoki Tsukamoto, Sakae Sensui, Junjun Jia, Nobuto Oka, Yuzo Shigesato
In-situ analyses on the reactive sputtering process to deposit amorphous In2O3+-ZnO films using an In-Zn alloy target
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - Nobuto Oka, Yuta Sanno, Naoki Tsukamoto, Junjun Jia, Yuzo Shigesato
Nb-doped TiO2 films deposited by reactive dc magnetron sputtering using Ni-Ti alloy target with impedence control systems
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - E. Maruyama, J. Jia, M. Kusayanagi, Y. Shigesato
Optical constants of Nb-doped TiO2 films analyzed by scanning ellipsometry
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - K. Otani, J. Jia, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Optical, electrical and thermophysical properties of amorphous and polycrystalline WO3+-x films deposited by dc reactive magnetron sputtering
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - Moena Yatabe, Junjun Jia, Masaaki Imura, Toshimasa Kanai, Yuzo Shigesato
Sputter deposition of Ta-doped SnO2 films using various oxide targets
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - S. Yonekawa, S. Nakatomi, J. Jia, M. Imura, T. Kanai, Y. Shigesato
Ta-doped SnO2 films deposited by reactive sputtering with a sintered Sn and Ta metal powder target using Ne, Ar or Kr
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - Hinako Kizuka, Takashi Yagi, Junjun Jia, Yuichiro Yamashita, Naoyuki Taketoshi, Tetsuya Baba, Yuzo Shigesato
Thermal conductivity of VO2 thin films across metal-semiconductor transition
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - Shyun Ando, Junjun Jia, Masaaki Imura, Toshimasa Kanai, Yuzo Shigesato
Thermochromic VO2 Films Deposited by Reactive DC Magnetron Sputtering Using a V-metal Target with Impedance Control Method
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5). - J. Jia, A. Yoshimura, Y. Kagoya, N. Oka, Y. Shigesato
Transparent Conductive Al or Ga doped ZnO films deposited by off-axis sputtering
8th International Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics(TOEO-8), Tokyo, Japan (2013/5).
2012年度
- [Invited] 重里 有三
ITO, IZO, AZO薄膜の仕事関数と電気特性、光学特性
日本学術振興会 透明酸化物光・電子材料第166委員会 第58回研究会, 東京 (2013/1). - M. Kusayanagi , A. Uchida, N. Oka, J. Jia, Y. Shigesato
Al-doped ZnO films deposited by reactive sputtering using slightly reduced buffer layer
4th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCM 2012), Crete, Greece (2012/10). - Y. Torigoshi, T. Matoba, N. Oka, J. Jia, E. Kawashima, M. Nishimura, M. Kasami, K. Yano, Y. Shigesato
Amorphous Indium-Tin-Zinc-Oxide (a-ITZO) films deposited by DC sputtering with O2, H2O, N2, oe N2 introduction
4th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCM 2012), Crete, Greece (2012/10). - A. Yoshimura, Y. Kagoya, N. Oka, J. Jia, Y. Shigesato
high quality Al or Ga doped ZnO films deposited by off-axis sputtering
4th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCM 2012), Crete, Greece (2012/10). - N. Oka, Y. Sanno, N. Tsukamoto, J. Jia, Y. Shigesato
Nb-doped TiO2 films deposited by reactive dc magnetron sputtering using Ni-Ti alloy target with impedance control systems
4th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCM 2012), Crete, Greece (2012/10). - R. Sato, N. Oka, J. Jia, F. Utsuno, A. Kaijo, Y. Shigesato
Optical properties of polycrystalline or amorphous In2O3-based transparent conductive films
4th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCM 2012), Crete, Greece (2012/10). - T. Yoshikawa, N. Oka, J. Jia, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, K. Hattori, Y. Seino, Y. Shigesato
Thermophysical properties of amorphous indium-gallium-zinc-oxide thin films
4th International Symposium on Transparent Conductive Materials(TCM 2012), Crete, Greece (2012/10). - 吉川 透, 岡 伸人, 賈 軍軍, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 服部 浩一郎, 清野 豊, 重里 有三
In2O3系透明酸化物薄膜の熱拡散率とその温度依存性
第33回日本熱物性シンポジウム（日本熱物性学会）, 大阪 (2012/10). - 川﨑 静香, 賈 軍軍, 岡 伸人, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 重里 有三
酸化物薄膜と金属薄膜の界面熱抵抗に関する研究
第33回日本熱物性シンポジウム（日本熱物性学会）, 大阪 (2012/10). - 鳥越 祥文, 的場 竜樹, 岡 伸人, 賈 軍軍, 川嶋 絵美, 西村 麻美, 笠見 雅司, 矢野 公規, 重里 有三
O2, H2O, N2, またはN2O導入DCスパッタリング成膜アモルファスIn-Sn-Zn酸化物(a-ITZO)薄膜
第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛 (2012/9). - 吉村 彩, 籠谷 幸広, 岡 伸人, 賈 軍軍, 重里 有三
Off-axis スパッタ法による低比抵抗AZO, GZOの成膜
第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛 (2012/9). - 賈 軍軍, 高崎 愛子, 岡 伸人, 重里 有三
アモルファスIZO薄膜の光学的バンドギャップの解析
第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛 (2012/9). - 吉村 彩, 籠谷 幸広, 岡 伸人, 賈 軍軍, 重里 有三
低比抵抗AlドープZnO(AZO)薄膜の成膜
第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛 (2012/9). - 佐藤 里奈, 岡 伸人, 賈 軍軍, 宇津野 太, 海上 暁, 重里 有三
分光エリプソメトリによる多結晶ITO, アモルファスIZO薄膜の解析
第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛 (2012/9). - J. Jia, A. Takasaki, N. Oka, Y. Shigesato
Fermi level shift of polycrystalline ITO and amorphous IZO thin films
The Twentieth Annual International Conference on Composites or Nano Engineering(ICCE), Beijing, China (2012/7). - M. Watanabe, N. Oka, K. Sugie, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
Electrochromic WO3 Films Deposited by Hollow Cathode Gas Flow Sputtering with Very High Deposition Rate
9th International Conference on Coatings on Glass and Plastics(ICCG9), Breda, Netherlands (2012/6). - M. Watanabe, N. Oka, K. Sugie, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
High performance electrochromic WO3 films deposited by hollow cathode gas flow sputtering
9th International Conference on Coatings on Glass and Plastics(ICCG9), Breda, Netherlands (2012/6). - A. Takasaki, J. Jia, N. Oka, Y. Shigesato
How work function depends on carrier density and optical band gap various TCO films
9th International Conference on Coatings on Glass and Plastics(ICCG9), Breda, Netherlands (2012/6). - N. Oka, Y. Sanno, N. Tsukamoto, Y. Shigesato
Nb-doped TiO2 films deposited by reactive dc magnetron sputtering using Ni-Ti alloy target
9th International Conference on Coatings on Glass and Plastics(ICCG9), Breda, Netherlands (2012/6). - A. Murata, N. Oka, K. Sugie, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
Visible-light active photocatalytic Pt/WO3 films deposited by hollow cathode gas flow sputtering
9th International Conference on Coatings on Glass and Plastics(ICCG9), Breda, Netherlands (2012/6). - Junjun Jia, Nobuto Oka, Yu Muto, Yuzo Shigesato
Carrier Transport Properties of Sb- and Ta-doped SnO2 (ATO and TTO) Films
2012 MRS Spring Meeting, USA (2012/4). - Junjun Jia, Nobuto Oka, Aiko Takasaki, Yuzo Shigesato
Comparative Study on Electrical and Optical Properties between Polycrystalline ITO, AZO and Amorphous IZO Films
2012 MRS Spring Meeting, USA (2012/4). - Junjun Jia, Nobuto Oka, Aiko Takasaki, Yuzo Shigesato
Experimental Observation of Fermi Level Shift in Aluminum Doped ZnO Films
2012 MRS Spring Meeting, USA (2012/4). - Nobuto Oka, Yuta Sanno, Naoki Tsukamoto, Junjun Jia, Yuzo Shigesato
Nb-doped TiO2 Films with Low Resistivity Deposited by Reactive dc Magnetron Sputtering with Impedance Control Systems
2012 MRS Spring Meeting, USA (2012/4). - Nobuto Oka, Maiko Kikuchi, Masahiro Imai, Junjun Jia, Yuzo Shigesato
Sputter Deposition of WO3 Films as Visible Light-active Photocatalyst
2012 MRS Spring Meeting, USA (2012/4).
2011年度
- 賈 軍軍, 高崎 愛子, 岡 伸人, 重里 有三
Investigation on Band –gap Shrinkage Phenomenon for ZnO:Al Films
第59回応用物理学会関係連合講演会, 東京 (2012/3). - 井上 敬子, 松田 景子, 吉川 正信, 岡 伸人, 重里 有三
ラマン分光法おうびカソードルミネッセンス法によるa-IGZO膜の構造評価
第59回応用物理学会関係連合講演会, 東京 (2012/3). - 岡 伸人, 賈 軍軍, 八木 貴志, 山下 雄一郎, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 重里 有三
様々な透明導電膜の熱物性
第59回応用物理学会関係連合講演会, 東京 (2012/3). - Kazuya Kanemoto, Nobuto Oka, Yuzo Shigesato
Dependence of Film Thickness on Photocatalytic TiO2 films Depositied by Rf Reactive Sputtering
The 21st MRS-Japan Academic Symposium, Yokohama, Japan (2011/12). - Masakazu Ozawa, Naoki Tsukamoto, Nobuto Oka, Yuzo Shigesato
Effects of Mesh on The Reactive Sputtering Process to Deposit TiNX and TiOX Films Using Ti Target
The 21st MRS-Japan Academic Symposium, Yokohama, Japan (2011/12). - T. Matoba, N. Oka, Y. Shigesato
Electrical Properties and Structure of Amorphous Zn-Sn-O Films
The 21st MRS-Japan Academic Symposium, Yokohama, Japan (2011/12). - J. Takashima, A. Murata, N. Oka, Y. Shigesato
Study on Polycrystalline WO3 Films as Visible Light-active Photocatalyst
The 21st MRS-Japan Academic Symposium, Yokohama, Japan (2011/12). - Azusa Uchida, Nobuto Oka, Yuzo Shigesato
The Early Stages of ZnO, Al-doped ZnO, Ga-doped ZnO Films Deposited by dc magnetron sputtering
The 21st MRS-Japan Academic Symposium, Yokohama, Japan (2011/12). - J. Jia, Y. Torigoshi, N. Oka, E. Kawashima, F. Utsuno, K. Yano, Y. Shigesato
Amorphous Indium-Tin-Zinc-Oxide (a-ITZO) films deposited by DC sputtering using various reactive gases
The 1st E-MRS/MRS-J Bilateral Symposia, Yokohama, Japan (2011/12). - 遠藤 亮, 平野 孝行, 竹田 正明, 大石 学, 吉川 透, 岡 伸人, 重里 有三
3ω法によるアモルファルIGZO膜の熱伝導率測定
第32回日本熱物性シンポジウム, 神奈川 (2011/11). - 川崎 静香, 岡 伸人, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 重里 有三
Al2O3/W多層膜における界面熱抵抗
第32回日本熱物性シンポジウム（日本熱物性学会）, 神奈川 (2011/11). - 田崎 ちひろ, 岡 伸人, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 神山 敏久, 重里 有三
TiO2およびNbドープTiO2薄膜の熱拡散率測定(2)
第32回日本熱物性シンポジウム（日本熱物性学会）, 神奈川 (2011/11). - 吉川 透, 岡 伸人, 山下 雄一郎, 八木 貴志, 竹歳 尚之, 馬場 哲也, 服部 浩一郎, 清野 豊, 重里 有三
アモルファスIGZO薄膜の熱拡散率測定
第32回日本熱物性シンポジウム（日本熱物性学会）, 神奈川 (2011/11). - M. Ozawa, N. Tsukamoto, N. Oka, Y. Shigesato
Effects of high energy particles bombarding on growing film surface during reactive sputtering deposition of TiNx films
BIT’s 1st Annual World Congress of Nano-S&T, China (2011/10). - T. Matoba, N. Oka, S. Nakamura, A. Hasegawa, T. Hattori, M. Ishida, Y. Shigesato
Formation of nano-crystallites in amorphous Zn-Sn-O films as transparent oxide semiconductors
BIT’s 1st Annual World Congress of Nano-S&T, China (2011/10). - Junjun Jia, Akiko Takasaki, Nobuto Oka, Yuzo Shigesato
Study on Shifted Fermi Level of indium-free Transparent Conductive Oxide
BIT’s 1st Annual World Congress of Nano-S&T, China (2011/10). - S. Kawasaki, N. Oka, Y. Yamashita, T. Yagi, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Thermal properties of nano-size interface between oxide and metallic films -Thermal boundary resistance between Al2O3 and W films
BIT’s 1st Annual World Congress of Nano-S&T, China (2011/10). - [Invited] 重里 有三
透明導電膜の最新動向★徹底解説～成膜法・新材料・最新動向を詳解～
Electronic Journal 第937回 Technical Seminar, 東京 (2011/10). - Chihiro Tasaki, Nobuto Oka, Toshihisa Kamiyama, Yuzo Shigesato
Electrical Properties of New In-free Transparent Conductive Oxide Films; Nb-doped TiO2
E-MRS 2011 Fall Meeting, Poland (2011/9). - N. Oka, M. Watanabe, K. Sugie, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
Reactive Gas Flow-Sputter deposition of amorphous WO3 Films for electrochromic devices
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - S. Nakatomi, Nobuto Oka, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Nobuto Oka, Y. Shigesato
Sb-or Ta-doped SnO2 (ATO or TTO) Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - Nobuto Oka, Akiko Takasaki, Yuzo Shigesato
Study on Work Function of Al-doped ZnO Films Surface
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - Toru Yoshikawa, Nobuto Oka, Takashi Yagi, Yuichiro Yamashita, Naoyuki Taketoshi, Tetsuya Baba, Yuzo Shigesato
Thermal Diffusivities of Amorphous Indium-Gallium-Zinc-Oxide (a-IGZO) Films
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - Chihiro Tasaki, Nobuto Oka, Takashi Yagi, Yuichiro Yamashita, Naoyuki Taketoshi, Tetsuya Baba, Yuzo Shigesato
Thermophysical Properties of Pure and Nb-doped TiO2 Films
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - T. Matoba, N. Oka, S. Nakamura, A. Hasegawa, T. Hattori, M. Ishida, Y. Shigesato
Zn-Sn-O Films as Transparent Oxide Semiconductors Deposited by Sputtering
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - [Invited] 重里 有三
Heat diffusion mechanisms in transparent conductive oxide films
E-MRS 2011 Fall Meeting, Warsaw, Poland (2011/9). - 村田 亜紀代, 塚本 直樹, 岡 伸人, 福地 将志, 福島 達也, 梶 弘典, 重里 有三
CT個体NMR法による光触媒表面へのアセトアルデヒドの吸着状態解析
2011年度春季第58回応用物理学関連連合講演会, 神奈川 (2011/3). - 井上 敬子, 松田 景子, 古川 正信, 岡 伸人, 重里 有三
ラマン分光法およびカソードルミネッセンス(CL)法によるa-IGZO膜評価
2011年度春季第58回応用物理学関連連合講演会, 神奈川 (2011/3). - A. Takasaki, N. Oka, Y. Shigesato
Carrier density dependence of work function for Al-doped ZnO(AZO) films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - K. Inoue, K. Matsuda, M. Yoshikawa, N. Oka, Y. Shigesato
Characterization of a-IGZO Films by Raman Spectroscopy
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - M. Takeda, R. Endo, Y. Tkai, M. Oishi, N. Oka, Y. Shigesato
Dependence of Total gas pressure on Thermal and Mechanical properties and Internal Structures in Indium Zinc Oxide Thin Films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - S.V. Green, M. Watanabe, N. Oka, G.G. Granqvist, Y. Shigesato
Electrochromic Properties of Mg-doped NiOx Thin Films Sputtered with H2O Introduction
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - M. Watanabe, N. Oka, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
High Rate Deposition of Electrochromic WO3 Films by Hollow Cathode Gas Flow Sputtering
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - Y. Muto, S. Nakatomi, N. Oka, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
High Rate Deposition of Ta-doped SnO2(TTO) by Reactive Sputtering with Plasma Emission Intesity or Impedance Feedback systems
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - S. Sensui, M. Ozawa, N.Tsukamoto, N. Oka, Y. Shigesato
In-situ analyses on sputtered fragments in the reactive sputtering process to deposit amorphous IZO films using IZ target
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - M. Ozawa, S. Sensui, N. Tsukamoto, N. Oka, Y. Shigesato
In-situ analyses on the reactive sputtering process to deposit TiNx films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - N. Tsukamoto, S. Sensui, M. Ozawa, N. Oka, Y. Shigesato
In-situ analyses on the reactive sputtering processes to deposit AZO films using an Al-Zn alloy target
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - J. Takashima, A. murata, N. Oka, Y. Shigesato
Photocatalytic activity of WO3 films crystallized by post-annealing in air
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - K. Kanemoto, A. Murata, N. Tsukamoto, N. Oka, M. Fukuchi, T. Fukushima, H. Kaji, Y. Shigesato
Photocatalytic TiO2 film depositied by rf reactive aputterin
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - A. Uchida, N. Oka, Y. Shigesato
Study on the initial film growth of ZnO transparent conductive films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - S. Kawasaki, N. Oka, Y. Yamashita, T. Yagi, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Thermal boundary resistance between aluminum oxide and tungsten films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - C. Tasaki, N. Oka, T. Yagi, N. Taketoshi, T. Baba, T. Kamiyama, Y. Shigesato
Thermal diffusivity measurement of TiO2 and Nb-doped TiO2 thin films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - K. Kato, T. Yagi, N. Taketoshi, T. Baba, N. Oka, Y. Shigesato
Thermophysical properties of Alq3 and α-NPD films
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - T. Yoshikawa, N. Oka, T. Yagi, Y. Yamashita, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato
Thermophysical properties of amorphous IGZO films deposited by dc magnetron sputtering
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - Y. Sanno, N. Tsukamoto, N. Oka, Y. Shigesato
Transparent conductive Nb-doped TiO2 films deposited by reactive dc magnetron sputtering with impedance control systems
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - A. Murata, N. Oka, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato
Visible-light Active Photocatalytic WO3 Films Deposited by Reactive Gas-Flow Sputtering
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - T. Matoba, N. Oka, S. Nakamura, a. Hasegawa, T. Hattori, M. Ishida, Y. Shigesato
Zn-Sn-O films as transparent amorphous oxide semiconductors
7th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics, Tokyo, Japan (2011/3). - [Invited] 重里 有三
透明導電膜の技術トレンド～基礎、成膜方法から新規材料開発まで～
『透明導電膜』セミナー, 東京 (2011/1).